[实用新型]一种加热器固定装置有效
| 申请号： | 201920870279.7 | 申请日： | 2019-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN210292860U | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 周思源 | 申请（专利权）人： | 量伙半导体设备（上海）有限公司 |
| 主分类号： | F27D11/00 | 分类号： | F27D11/00;F27D11/02;H01L21/324 |
| 代理公司： | 北京思创大成知识产权代理有限公司 11614 | 代理人： | 高爽 |
| 地址： | 201302 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种加热器固定装置，用于将加热器固定至热处理腔室侧壁的固定孔内，加热器固定装置包括固定板和支撑架，固定板包括第一连接部和通孔；第一连接部用于将固定板连接至热处理腔室的外侧壁，通孔贯穿固定板，且与固定孔的位置对应；支撑架包括第二连接部和支撑双臂，第二连接部用于将支撑架连接在固定板上，支撑双臂与通孔对应设置；加热器设置于固定孔中，加热器的末端从固定孔中伸出并穿过通孔，固定在支撑双臂内，使得加热器的外壁与固定孔的内壁之间设有缝隙。本实用新型的有益效果在于：加热器固定装置将加热器的末端支撑起，使加热器周围留用空隙，利于加热器的散热，延长加热器使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 加热器 固定 装置 | ||
【主权项】：
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