[实用新型]一种晶圆参数测量仪机器人手臂结构有效
| 申请号： | 201920880783.5 | 申请日： | 2019-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN210282347U | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 梅华斌;刘文庆;邵晖 | 申请（专利权）人： | 无锡职业技术学院 |
| 主分类号： | B25J15/06 | 分类号： | B25J15/06;B25J18/00;B65G47/91 |
| 代理公司： | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 | 代理人： | 冯智文 |
| 地址： | 214121 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆参数测量仪机器人手臂结构，括安装座和安装板，所述安装座一侧安装有安装板，所述安装板一侧活动安装有一号转盘，所述一号转盘一侧固定安装有一号活动轴，所述一号活动轴内腔一端活动安装有一号连接臂，所述一号连接臂内腔一端安装有液压缸。本实用新型通过真空吸盘的的设置采用真空吸附晶圆片，这样使其避免传统机械手夹取会对晶圆片造成损伤，降低损失和成本，比较适合晶圆片较薄脆的物件进行夹取，二号转盘和多组吸取头的设置使其可以在一号电机的带动作用下进行转动使其调换不同的吸取头的位置，以便放置在测量装置上，这样一次性吸取多个物件进行轮换取放材料，提高工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 参数 测量仪 机器人 手臂 结构 | ||
【主权项】：
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