[实用新型]一种晶圆检测用除尘装置有效
| 申请号： | 201920881895.2 | 申请日： | 2019-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN209843674U | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 孙军 | 申请（专利权）人： | 无锡新微阳科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/66 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及晶圆检测装置，公开了一种晶圆检测用除尘装置，其技术方案要点是包括若干吹尘枪,探针台主体上表面连接有若干呈竖向设置的支撑杆，若干支撑杆围绕放置槽设置，若干支撑杆的顶端连接有同一个承托圆环，吹尘枪连接在承托圆环上，吹尘枪的喷嘴朝向放置槽内，吹尘枪的进气端套设有进气软管，进气软管远离吹尘枪的一端连通有高压存气罐，进气软管的管身上连接有第一通气阀。本实用新型具有能够对晶圆表面粘附的异物进行清理的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 吹尘枪 进气软管 支撑杆 本实用新型 放置槽 承托 圆环 技术方案要点 晶圆检测装置 主体上表面 除尘装置 顶端连接 晶圆表面 竖向设置 喷嘴 气阀 进气端 探针台 粘附的 异物 气罐 种晶 连通 检测 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆检测用除尘装置，其特征在于：包括若干吹尘枪(6),探针台主体(1)上表面连接有若干呈竖向设置的支撑杆(4)，若干支撑杆(4)围绕放置槽(2)设置，若干支撑杆(4)的顶端连接有同一个承托圆环(5)，吹尘枪(6)连接在承托圆环(5)上，吹尘枪(6)的喷嘴朝向放置槽(2)内，吹尘枪(6)的进气端套设有进气软管(7)，进气软管(7)远离吹尘枪(6)的一端连通有高压存气罐(8)，进气软管(7)的管身上连接有第一通气阀(23)。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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