[实用新型]一种用于晶圆探针卡的显微镜校正装置

摘要

本实用新型涉及探针校正的技术领域，公开了一种用于晶圆探针卡的显微镜校正装置，其技术方案要点是包括显微镜、夹紧组件和调节组件；夹紧组件包括底支撑板，底支撑板上呈竖向固定连接有支柱，支柱沿着底支撑板的长度方向相对设置，两侧支柱的顶面分别固定连接有承接板，承接板上贴合有压板，两侧压板相对的侧面开有卡槽，卡槽位于压板的下表面，压板上穿设有锁紧螺栓，锁紧螺栓穿入卡槽内，其与压板之间螺纹连接；调节组件包括支撑柱和连接在支撑柱上的延伸杆组，显微镜连接在延伸杆组远离支撑柱的一端。本实用新型通过夹紧组件对探针卡进行夹紧，利用显微镜观察探针是否弯折，整个过程无需人工稳定，从而达到了节省工作人员劳动负荷的效果。