[实用新型]一种双开门真空镀膜设备有效
| 申请号： | 201920895685.9 | 申请日： | 2019-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN210085564U | 公开（公告）日： | 2020-02-18 |
| 发明（设计）人： | 王海;郭喜明;王英智;王开亮;刘洋;吴迪 | 申请（专利权）人： | 沈阳乐贝真空技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/56 |
| 代理公司： | 沈阳亚泰专利商标代理有限公司 21107 | 代理人： | 王荣亮 |
| 地址： | 110135 辽宁省沈阳市*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种双开门真空镀膜设备，解决现有技术存在的工件取放灵活性差，镀膜效率低，靶材直径小，弧光不够细腻，膜层均匀性差，涂层与基体的结合强度和韧性低，维护不方便的问题。包括内部设置有工件旋转架的长方体状真空室，其特征在于：真空室两侧开口处分别设置有真空密封门Ⅰ和真空密封门Ⅱ，真空密封门Ⅰ和真空密封门Ⅱ的两个弧形内侧壁上，一共设置有三个电弧蒸发源组，每个电弧蒸发源组均由四个电弧蒸发源和四个引弧装置构成，相邻的电弧蒸发源之间设置有加热装置；真空室前部设置有离化源和阳极，真空室后部设置有抽气口。其设计合理，结构紧凑，工件取放灵活，涂层与基体结合强度高、韧性好，靶材多元化、膜系多样化，镀膜效率高，维护方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双开 真空镀膜 设备 | ||
【主权项】：
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