[实用新型]量测真空腔室压力的组件及基板处理设备有效
| 申请号： | 201920907082.6 | 申请日： | 2019-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN210071221U | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 洪志楷;陈俊鸰 | 申请（专利权）人： | 千侑科技有限公司;庆望绿能有限公司 |
| 主分类号： | G01L21/00 | 分类号： | G01L21/00 |
| 代理公司： | 11243 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 许静;安利霞 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型关于一种量测真空腔室压力的组件，包括真空压力计、隔离阀、及手动阀。真空压力计是经由一管路而流体连通至真空腔室，以量测真空腔室中的压力。隔离阀是设置于真空压力计与真空腔室之间，并且经由管路而流体连通至真空压力计及真空腔室。手动阀是设置于隔离阀与真空腔室之间，并且经由管路而流体连通至隔离阀及真空腔室。 | ||
| 搜索关键词： | 真空腔室 真空压力计 隔离阀 流体连通 手动阀 量测 本实用新型 | ||
【主权项】：
1.一种量测真空腔室压力的组件，其特征在于，包括：/n至少一真空压力计，经由一管路而流体连通至一真空腔室，以量测所述真空腔室中的压力；/n一隔离阀，设置于所述至少一真空压力计与所述真空腔室之间，所述隔离阀经由所述管路而流体连通至所述至少一真空压力计及所述真空腔室；及/n一手动阀，设置于所述隔离阀与所述真空腔室之间，所述手动阀经由所述管路而流体连通至所述隔离阀及所述真空腔室。/n
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