[实用新型]清洁装置及离子植入设备有效
| 申请号： | 201920911259.X | 申请日： | 2019-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN210207978U | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | 曹旭东;廖宜专;吴宗祐;林宗贤 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/087 | 分类号： | B08B9/087;H01J37/317;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种清洁装置及离子植入设备，所述清洁装置包括刷子、控制模块和用于固定所述刷子的基座，所述控制模块用于控制所述基座带动所述刷子在所述磁分析器单元的腔室内移动，以使所述刷子与所述腔室的内壁相抵触并擦拭所述腔室的内壁。本实用新型所提供的清洁装置和离子植入设备不仅结构简单，使用方便，而且能够显著降低半导体设备周期性维护的次数，从而提高出货率。 | ||
| 搜索关键词： | 清洁 装置 离子 植入 设备 | ||
【主权项】：
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