[实用新型]一种用于硅片陶瓷盘分离机的刷洗装置

摘要

本实用新型提供一种用于硅片陶瓷盘分离机的刷洗装置，包括陶瓷盘正面刷洗机构、陶瓷盘侧面刷洗机构、陶瓷盘传输机构和陶瓷盘旋转机构；正面刷洗机构包括毛刷安装座、毛刷和主轴；毛刷安装座的设有毛刷，毛刷安装座的顶部与主轴的底部相连；主轴四周设有滑动轴；滑动轴外设有滑套；滑套设于钢板上，钢板与主轴固定连接；钢板上设有移动气缸；主轴顶部设有安装面板，本实用新型区别于目前只能单一刷洗正面的刷洗机构，本装置实用新型能够解决陶瓷盘侧面脏污的问题。并且不仅毛刷可以转动，陶瓷盘也可以转动，使两者转动方向相反，进一步增强刷洗效果。