[实用新型]一种真空沉积系统样品加热台有效
| 申请号： | 201920916718.3 | 申请日： | 2019-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN210560721U | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 迟力峰;王文冲;王燕东 | 申请（专利权）人： | 苏州驰鸣纳米技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/54 |
| 代理公司： | 宿迁市永泰睿博知识产权代理事务所(普通合伙) 32264 | 代理人： | 陈栋 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种真空沉积系统样品加热台，包括样品台、加热装置、温度监测装置和绝缘保护层，所述样品台设有支架并通过所述支架与真空腔内壁连接固定；所述加热装置包括加热电极和加热导线，所述加热电极和加热导线铺设于所述样品台；所述温度监测装置包括温度传感器和温度控制显示器，所述温度监测装置的所述温度传感器设于所述样品台；本实用新型的加热导线可以直接对样品进行加热，具有加热效率高，能耗低的特点，加热丝根据所需温度分布铺设在样品台上，在加热过程中不会变形，从而导致短路等现象发生，加热台还设有温度监测装置，能实时监测和控制绝缘样品台的温度，适用于多种有机半导体小分子的控温生长。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 沉积 系统 样品 加热 | ||
【主权项】：
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