[实用新型]一种氦质谱检漏仪气路集成模块装置有效
| 申请号： | 201920919965.9 | 申请日： | 2019-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN210464825U | 公开（公告）日： | 2020-05-05 |
| 发明（设计）人： | 朱长平;黄文平;陈然 | 申请（专利权）人： | 安徽皖仪科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230088 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种氦质谱检漏仪气路集成模块装置，包括呈块状的气路集成模块，所述气路集成模块固定安装在分子泵上；所述气路集成模块内设有若干气孔，若干所述气孔分别与分子泵排气口、前级泵以及真空规管连接，其中，连接真空规管的气孔与连接前级泵的气孔相通，并且连接真空规管的气孔与连接分子泵排气口的气孔相通；所述气路集成模块内还设有若干检漏气孔，若干检漏气孔一端与检漏口连接，另一端与分子泵的检口连接。本实用新型简化了仪器内部气路，能将真空系统的气路有效的集成到一个模块上，有利于氦质谱检漏仪的小型化发展，而且该装置结构简单，易于实现，可操作性强。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氦质谱 检漏 仪气路 集成 模块 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于安徽皖仪科技股份有限公司，未经安徽皖仪科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201920919965.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种弹力足趾牵伸装置
- 下一篇：一种固定手套及肩托带组合装置
