[实用新型]一种循环式扫描曝光机有效

专利信息
申请号: 201920922491.3 申请日: 2019-06-19
公开(公告)号: CN210005856U 公开(公告)日: 2020-01-31
发明(设计)人: 蔡志国;张米好;江俊龙;农远峰 申请(专利权)人: 深圳凯世光研股份有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 44218 深圳市千纳专利代理有限公司 代理人: 刘洋
地址: 518000 广东省深圳市宝*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型涉及光学设备领域,解决现有工件曝光设备曝光效率低的问题。本申请公开了一种循环式扫描曝光机,包括有底座,设置在底座上的曝光台,以及曝光装置,曝光台上分别设有两组用于工件供料的左供料机构和右供料机构,曝光装置支架上设有驱动一排以上的曝光装置移动的曝光装置驱动机构;底座上设有驱动曝光装置支架垂直曝光装置支架移动的曝光装置支架驱动机构。左供料机构和右供料机构可以同时把工件托起准备曝光,当左边的工件曝光完毕,曝光装置移动到右边的工件直接进行曝光,同时左边的供料机构把曝光的工件传送出料,再把左边支撑柱组件上未曝光的工件传送托起准备曝光,依次循环;传感器用于检测工件是否弯曲,从而剔除不合格的工件;从而曝光效率高,不需要有上料等待时间。
搜索关键词: 曝光装置 供料机构 曝光 底座 工件传送 曝光效率 托起 支架 支架驱动机构 本实用新型 扫描曝光机 支撑柱组件 驱动 光学设备 检测工件 曝光设备 驱动机构 支架移动 传感器 曝光台 循环式 移动 出料 供料 两组 上料 剔除 垂直 申请
【主权项】:
1.一种循环式扫描曝光机,包括有底座,设置在底座上的曝光台,以及用于工件曝光的曝光装置,其特征在于:所述的曝光台上分别设有两组用于工件供料的左供料机构和右供料机构,左供料机构和右供料机构把曝光台分成左曝光区和右曝光区,所述的左供料机构和右供料机构均包括有用于支撑放置工件的由多个相互平行设置的倒U形支撑柱组成的支撑柱组件,以及用于把支撑柱组件上的工件托起传送的传送板,传送板上设有与支撑柱组件配合的顶柱组件,底座上设有驱动顶柱组件上下移动以及沿进出料方向移动的传送驱动机构,所述的底座上设有横跨曝光台的曝光装置支架,一排以上所述的曝光装置滑动设于曝光装置支架上,曝光装置支架上设有驱动一排以上的曝光装置沿曝光装置支架移动的曝光装置驱动机构;所述的底座上设有驱动曝光装置支架垂直曝光装置支架移动的曝光装置支架驱动机构。/n
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