[实用新型]一种用于电镀设备的电镀溶液输入装置和相应电镀设备有效
申请号: | 201920928322.0 | 申请日: | 2019-06-19 |
公开(公告)号: | CN210215608U | 公开(公告)日: | 2020-03-31 |
发明(设计)人: | 秦杰;王金岗;薛超;林宗贤 | 申请(专利权)人: | 德淮半导体有限公司 |
主分类号: | C25D21/14 | 分类号: | C25D21/14;C25D17/00;C25D7/12 |
代理公司: | 上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31313 | 代理人: | 李镝的 |
地址: | 223302 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种用于电镀设备的电镀溶液输入装置,其特征在于,包括:电镀溶液进口,其被配置为输入电镀溶液;第一电镀溶液管道,其与电镀溶液进口连通以用于引导电镀溶液;以及第一组多个电镀溶液输入口,其与第一电镀溶液管道连通以用于将电镀溶液从第一电镀溶液管道输入到电镀设备中,其中所述第一组多个电镀溶液输入口被定向为使得所输出的电镀溶液以第一方向转动。通过本实用新型,可以在电镀过程中提高电镀溶液中的各组分的均匀性,从而提高电镀质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 电镀 设备 溶液 输入 装置 相应 | ||
【主权项】:
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