[实用新型]等离子喷涂靶材表面除杂系统

摘要

本实用新型涉及等离子喷涂靶材表面除杂系统，包括吸附管道，吸附管道包括外管、设置在外管内部的内管，外管与内管之间设置有吸附腔，外管包括第一直管和第一锥管，内管包括第二直管和第二锥管，第一锥管的小端与第二锥管的小端之间设置有与吸附腔相连通的开口；外管的外部设置有连管，内管的内壁设置有隔热层，外管的外侧固设有夹套，夹套与外管的外侧壁之间设置有换热腔。所述等离子喷涂靶材表面除杂系统能够除去喷射到靶材附近反射流中的金属粉尘，这能够有效降低靶材喷涂区域附近的粉尘，在来回往复喷涂时能够显著降低靶材内部的夹生粉尘含量，等离子喷涂的合格率高。