[实用新型]蒸发源分配装置及蒸镀装置有效
| 申请号： | 201920961348.5 | 申请日： | 2019-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN210765480U | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 李强;徐义;陆祁兵 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京华夏泰和知识产权代理有限公司 11662 | 代理人： | 王卫忠 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及太阳能电池技术领域，提供一种蒸发源分配装置及蒸镀装置，蒸发源分配装置包括盖体与底座，底座包括装配座，装配座设有用于通入蒸发源所产生气体的进气口；盖体包括分配部，分配部内部设分配腔，分配部上间隔地开设多个出气孔，出气孔连通至分配腔；盖体与装配座装配式连接，装配座能盖合于分配腔的开放面；进气口连通至分配腔。本申请实施例中蒸发源分配装置的盖体与底座为装配式连接结构，以此形成分体装配式分配装置，方便于在使用中通过拆解进行维护或清洗。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 分配 装置 | ||
【主权项】：
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