[实用新型]一种用于晶棒水平晶向定位的测量工具

摘要

本实用新型提供一种用于晶棒水平晶向定位的测量工具，包括调整装置和量取装置，量取装置包括量取盘、水平泡和定位杆，量取盘的内部还设有供定位杆通过的通道，调整装置包括调节机构、定位机构和连接机构，调节机构包括固定柱、调节螺帽、环套和固定环，固定柱为圆柱形，调节螺帽的外壁还设有一环形凹槽，环形凹槽内设有环套，环套通过固定环连接连接机构；连接机构包括连接杆和连接环，连接杆通过连接环铰接于固定环和定位机构；定位机构包括阻块和固定铰支座，阻块通过固定铰支座连接于连接环，阻块底面还连接定位杆。本实用新型弥补了Notch角硅单晶棒水平晶向无法物理测量定位的缺陷。

主权项

1.一种用于晶棒水平晶向定位的测量工具，其特征在于：包括调整装置和量取装置，所述量取装置包括量取盘、水平泡和定位杆，所述量取盘为圆形盘，量取盘表面设有量角刻度，所述水平泡固定于所述量取盘的上表面，量取盘的内部还设有供定位杆通过的通道；所述通道垂直于量取盘中心轴，所述通道还包括第一通道和第二通道，所述第一通道和第二通道均穿过量取盘的圆心，所述第一通道和所述第二通道的内部设有所述定位杆，所述定位杆设置为多个，所述定位杆还通过调整装置调节；/n所述调整装置包括调节机构、定位机构和连接机构，所述调节机构包括固定柱、调节螺帽、环套和固定环，所述固定柱为圆柱形，固定柱的底端沿量取盘的中心轴方向垂直连接于量取盘的上表面，固定柱的外壁还设有外螺纹，调节螺帽的内壁设有与所述外螺纹相匹配的内螺纹，所述调节螺帽螺纹连接于固定柱，调节螺帽的外壁还设有一环形凹槽，环形凹槽内设有所述环套，所述环套为圆环状，环套的外壁连接固定环，所述环套通过所述固定环连接所述连接机构；/n所述连接机构包括连接杆和连接环，所述连接杆为柱型杆，连接杆的两端还分别连有连接环，连接杆的一端通过连接环铰接于固定环，连接杆的另一端通过连接环连接定位机构；/n所述定位机构包括阻块和固定铰支座，所述阻块固定于定位杆的端部，所述阻块为长方体状，阻块顶面连接固定铰支座，所述阻块通过所述固定铰支座连接于所述连接环，阻块底面还连接定位杆。/n