[实用新型]一种高温气相沉积炉体结构有效
| 申请号： | 201920978668.1 | 申请日： | 2019-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN210261955U | 公开（公告）日： | 2020-04-07 |
| 发明（设计）人： | 李丙科 | 申请（专利权）人： | 无锡松煜科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00;C23C14/56;C23C16/00 |
| 代理公司： | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人： | 黄冠华 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种高温气相沉积炉体结构，包括高温炉体、炉口护罩以及炉尾护罩，高温炉体内壁上安装石英管，高温炉体外侧面上设置保温组件，石英管内套接石英衬管，石英管两端均安装进气管，位于炉口处的进气管安装在炉口法兰上，位于炉尾处的进气管一端延伸至石英管内中间位置，进气管一侧的石英衬管内安装热偶套管，炉口护罩安装在炉口法兰一侧，炉口法兰通过炉体把扣环与高温炉体相连接，炉口护罩内壁上安装散热管托板，散热管托板内壁上安装螺旋散热管，高温炉体外表面两侧对称安装炉体支撑一以及炉体支撑二，炉尾护罩安装在炉尾法兰一侧，本实用新型能够提高密封件的密封性和使用寿命，以保证石英管内部的真空度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高温 沉积 结构 | ||
【主权项】：
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