[实用新型]一种全自动研磨机有效
| 申请号： | 201920988379.X | 申请日： | 2019-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN210189373U | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | 胡敬祥;高盼盼;黄郁声 | 申请（专利权）人： | 深圳方达半导体装备有限公司 |
| 主分类号： | B24B27/00 | 分类号： | B24B27/00;B24B55/06;B24B41/00;B24B37/10;B24B37/30;B24B37/34;B24B37/013 |
| 代理公司： | 深圳市查策知识产权代理事务所(普通合伙) 44527 | 代理人： | 曾令安 |
| 地址： | 518106 广东省深圳市光明新区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及研磨技术领域，具体涉及一种全自动研磨机。包括：底座、电控箱组件和研磨总成，所述电控箱组件和所述研磨总成均设置在所述底座上，其特征在于，所述研磨总成包括：用以固定工件的转盘组件、气悬浮垫盘、转运组件、打磨组件、刷洗盘组件和检测组件，所述转盘组件设置在底座上，所述转盘组件上具有装卸工位、粗加工工位和精加工工位，所述气悬浮垫盘设置在转盘组件与底座之间，所述转盘组件与驱动电机传动连接，所述驱动电机通过升降组件与底座固定连接。本实用新型通过采用研磨和测厚同时进行，缩短检测时间提升加工效率，通过设置气悬浮垫盘配合定位组件能够将转盘进行转动使得转台实现精准定位进行加工。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 全自动 研磨机 | ||
【主权项】：
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