[实用新型]一种碳化硅晶片抛光的碎屑收集装置有效
| 申请号： | 201920991409.2 | 申请日： | 2019-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN210207830U | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | 李帅;崔素杭;纪亮亮;甘琨;李晓波 | 申请（专利权）人： | 同辉电子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/12;B08B3/14 |
| 代理公司： | 石家庄元汇专利代理事务所(特殊普通合伙) 13115 | 代理人： | 周大伟 |
| 地址： | 050200 河北省石家*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种碳化硅晶片抛光的碎屑收集装置，包括收集槽，所述收集槽底部内壁上通过支架安装有漏屑板，且漏屑板的四边外壁与收集槽的内壁粘接，所述收集槽的一侧内壁上通过螺丝固定有超声波发生器，所述收集槽的底部内壁上连接有螺纹软管，且螺纹软管的中部对夹安装有阀门，所述螺纹软管的底部连接有顶部开口的收集筒，且收集筒的顶部卡接于过滤机构，所述收集筒一侧外壁的底部位置处连接有水泵，且水泵通过导管连接有固定于收集槽顶部一侧的水龙头，所述水龙头的出水端通过螺纹连接有喷头。本实用新型能够冲洗并通过超声波清理碳化硅晶片上附着的碎屑，能够过滤和收集碎屑，避免碎屑四处飞舞，避免造成环境污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 晶片 抛光 碎屑 收集 装置 | ||
【主权项】：
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