[实用新型]一种碳化硅晶棒切割用的夹紧装置有效
| 申请号： | 201920992930.8 | 申请日： | 2019-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN210361998U | 公开（公告）日： | 2020-04-21 |
| 发明（设计）人： | 李晓波;韩建坤;袁凤坡;申硕;李路杰 | 申请（专利权）人： | 同辉电子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B28D7/04 | 分类号： | B28D7/04 |
| 代理公司： | 石家庄元汇专利代理事务所(特殊普通合伙) 13115 | 代理人： | 周大伟 |
| 地址： | 050200 河北省石家*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种碳化硅晶棒切割用的夹紧装置，包括连接杆和固定于一端的联轴器，所述连接杆另一端圆周外壁上焊接有等距离分布的支撑杆，且支撑杆远离连接杆的一端焊接有同一个固定管，所述固定管的外壁上开设有等距离且呈环形分布的通孔，且固定管的外壁上通过螺丝固定有与通孔数量相匹配的夹持机构，所述夹持机构包括推杆电机、固定于推杆电机一端的压力传感器、与压力传感器连接的弧形结构缓冲垫和固定于推杆电机一侧外壁上的微处理器。本实用新型能够实时监测夹持机构对碳化硅晶棒的夹持力度，能够根据压力信息调节对碳化硅晶棒的夹持力，提供稳定的夹持力，能够在夹持机构与碳化硅晶棒接触时缓冲接触力度，避免碳化硅受损。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 切割 夹紧 装置 | ||
【主权项】：
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