[实用新型]一种清洁装置及封装压合系统有效
| 申请号： | 201921001967.6 | 申请日： | 2019-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN210523267U | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | 张意;程清;朱鹏飞 | 申请（专利权）人： | 昆山维信诺科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 康艳艳 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供的一种清洁装置及封装压合系统，包括可与外界惰性气体气源连通的气管结构以及吹气电磁阀，所述气管结构包括第一气管、第二气管，所述第一气管的进气口可与外界惰性气体气源连通，所述第一气管的出气口与所述吹气电磁阀的第一端连通，所述吹气电磁阀的第二端与所述第二气管的进气口连通，所述第二气管用于向待清洁设备吹气，所述吹气电磁阀可与待清洁设备的机台开关之间互锁。由于吹气电磁阀可与待清洁设备的机台开关之间互锁，也就是在机台开关在启动时，吹气电磁阀关闭，在待清洁设备运行时，不能对其进行清洁，保证了操作人员的安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清洁 装置 封装 系统 | ||
【主权项】：
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