[实用新型]一种提高低压扩散产能的增加氮气回充流量装置

摘要

本实用新型公开了一种提高低压扩散产能的增加氮气回充流量装置，包括扩散炉炉管，所述扩散炉炉管连接有主回充管，所述主回充管远离扩散炉炉管一端依次连接有主气动阀和主流量计，所述主回充管上插接有辅回充管，所述辅回充管远离主回充管一端依次连接有辅气动阀和浮子流量计，所述辅回充管和辅气动阀之间设置有连接头，所述内腔一侧侧壁开设有出气口，且内腔远离出气口一侧侧壁开设有四个进气口。本实用新型的辅回充管可以通过连接头的使用，同时增加多路调节管同时进行氮气回充，从而使产能得到进一步提升，最后经统计，增加辅回充管进行调节后每12小时产能能够提升1847片，实用效果非常好。