[实用新型]一种碳化硅生产籽晶保护装置有效
| 申请号： | 201921053183.8 | 申请日： | 2019-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN210560881U | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 徐涛;梁逍 | 申请（专利权）人： | 天津市卓辉电子有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B15/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300000 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种碳化硅生产籽晶保护装置，包括反应炉，所述反应炉外壁固定连接有距离传感器，所述反应炉外壁固定连接有控制面板，所述反应炉内壁开设有限位卡槽，所述限位卡槽内固定连接有气缸，所述气缸输出端固定连接有弧形板，所述弧形板远离气缸的一端固定连接有缓冲装置，所述反应炉内壁固定连接有两组防护装置，且对称分布在气缸两侧，此碳化硅生产籽晶保护装置通过距离传感器和控制面板堆气缸进行控制，使气缸运动，带动挡板运动，对籽晶起到夹持的作用，可以避免籽晶掉入熔汤里。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 生产 籽晶 保护装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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