[实用新型]一种尾气处理系统

摘要

本实用新型属于半导体设备领域，涉及一种尾气处理系统，包括：干泵；多级水箱，底部具有进液口和出液口，顶端具有进气口和排气口；尾气处理管路，连接干泵和进气口，靠近干泵一端具有第一阀门，靠近进气口一端具有第二阀门；其特征在于：还包括冲洗管路，所述冲洗管路的一端通过水泵与水箱的底端连接，另一端通过第三阀门与尾气处理管路连接，所述第三阀门和尾气处理管路之间具有压缩空气进气口和压力表。本实用新型通过于多级水箱和尾气处理管路之间增加冲洗管路和水泵，并在冲洗管路和尾气处理管路之间增加压缩空气进气口，采用多级水箱中的水和压缩空气分别对尾气处理管路进行冲洗和吹扫，从而防止尾气处理管路堵塞。