[实用新型]一种基板干燥装置有效
| 申请号： | 201921071474.X | 申请日： | 2019-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN210801918U | 公开（公告）日： | 2020-06-19 |
| 发明（设计）人： | 王超 | 申请（专利权）人： | 咸阳彩虹光电科技有限公司 |
| 主分类号： | F26B15/12 | 分类号： | F26B15/12;F26B21/00;F26B21/12 |
| 代理公司： | 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 | 代理人： | 张晓 |
| 地址： | 712000 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种基板干燥装置，包括箱体、第一风刀、第二风刀、若干排气阀体和若干测量件，其中，箱体的一端开设有基板进口，另一端开设有基板出口；第一风刀和第二风刀相对设置在箱体的内部，且第一风刀和第二风刀之间形成一缝隙，缝隙与基板进口、基板出口形成基板通过面，第一风刀和第二风刀将箱体分割为湿区间和干区间；若干排气阀体分布在湿区间对应的箱体上，且分布在基板通过面的上侧和下侧；若干测量件分布在湿区间内与若干排气阀体相对应的区域，且分别分布在基板通过面的上侧、下侧和边侧。该基板干燥装置可实现箱体内气流的动态调整，降低气体扰流带来的颗粒物和水汽回溅问题，提升设备的洁净度，降低玻璃基板的污染率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 干燥 装置 | ||
【主权项】：
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