[实用新型]导正型硅片插片机

摘要

本实用新型涉及硅片加工设备领域，尤其是导正型硅片插片机。该插片机包括机台、二轴机械手、吸盘、吹气机构、传送台、导正机构、花篮、花篮升降机构、硅片升降机构和分片机构，所述机台上安装有二轴机械手、传送台、导正机构、分片机构，二轴机械手的升降端固定有吸盘，二轴机械手的水平移动端固定有吹气机构，传送台位于导正机构之间，机台底端固定有花篮升降机构和硅片升降机构，花篮升降机构上定位有花篮。本实用新型通过二轴机械手驱动吸盘将硅片从硅片升降机构抓取到传送台上，吹气机构将硅片上的污物吹除。传送台将硅片传送到花篮内。通过导正机构来防止硅片偏移传送方向。本申请提高了硅片插片的效率。

主权项

1.一种导正型硅片插片机，其特征是，包括机台(1)、二轴机械手(2)、吸盘(3)、吹气机构(4)、传送台(5)、导正机构(6)、花篮(7)、花篮升降机构(8)、硅片升降机构(9)和分片机构(10)，所述机台(1)上安装有二轴机械手(2)、传送台(5)、导正机构(6)、分片机构(10)，二轴机械手(2)的升降端固定有吸盘(3)，二轴机械手(2)的水平移动端固定有吹气机构(4)，传送台(5)位于导正机构(6)之间，机台(1)底端固定有花篮升降机构(8)和硅片升降机构(9)，花篮升降机构(8)上定位有花篮(7)，机台(1)的台面上开设有用于穿过花篮(7)的穿口和用于穿过硅片的穿口。/n