[实用新型]全自动刻蚀下料机

摘要

本实用新型涉及硅片加工设备领域，尤其是全自动刻蚀下料机。该下料机包括机台、X轴向输送台一、X轴向输送台二、Y轴向输送台一、Y轴向输送台二、升降台、上下直线模组、传送平台、传动电机、转轴、轴环和吸板，所述机台上固定有升降台、Y轴向输送台一、Y轴向输送台二、上下直线模组，X轴向输送台一两端分别固定在升降台的平台上。本实用新型通过Y轴向输送台一配合可升降的X轴向输送台一实现硅片的L形轨道运行。通过X轴向输送台二和Y轴向输送台二配合传送平台实现硅片L形轨道运行。通过传动电机驱动的数个吸板的旋转，来实现硅片从X轴向输送台一到X轴向输送台二的过渡及缓冲。提高了硅片的下料效率。

主权项

1.一种全自动刻蚀下料机，其特征是，包括机台(1)、X轴向输送台一(2)、X轴向输送台二(3)、Y轴向输送台一(4)、Y轴向输送台二(5)、升降台(6)、上下直线模组(7)、传送平台(8)、传动电机(9)、转轴(10)、轴环(11)和吸板(12)，所述机台(1)上固定有升降台(6)、Y轴向输送台一(4)、Y轴向输送台二(5)、上下直线模组(7)，X轴向输送台一(2)两端分别固定在升降台(6)的平台上，Y轴向输送台一(4)上设有用于穿过X轴向输送台一(2)的凹槽，X轴向输送台一(2)与X轴向输送台二(3)位于同一直线上，传送平台(8)固定在上下直线模组(7)的滑座上，传送平台(8)相邻的两侧分别朝向X轴向输送台二(3)的端头和Y轴向输送台二(5)的端头，转轴(10)通过支撑座转动连接在机台(1)上，转轴(10)一端通过传送带连接在传动电机(9)的输出轴上，传动电机(9)固定在机台(1)上，转轴(10)穿过并固定在轴环(11)上，轴环(11)的弧形面上均匀分布固定有数个吸板(12)，吸板(12)上固定有抽气泵，抽气泵与吸板(12)的内腔相连通，吸板(12)上开设有与内腔相连通的吸孔，轴环(11)及吸板(12)位于X轴向输送台二(3)的两条皮带之间。/n