[实用新型]高效型硅片导片机有效
| 申请号： | 201921076652.8 | 申请日： | 2019-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN209880570U | 公开（公告）日： | 2019-12-31 |
| 发明（设计）人： | 向永富 | 申请（专利权）人： | 苏州璞智自动化科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;B08B1/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及硅片加工设备领域，尤其是高效型硅片导片机。该导片机包括皮带输送机、花篮一、花篮一升降台、花篮二、花篮二升降台、皮带清污机构、出片机构和进片机构，所述皮带输送机的平台底部设有花篮一升降台和花篮二升降台，花篮一升降台的移动端上设有花篮一，花篮二升降台的移动端上设有花篮二。本实用新型通过皮带输送机进行硅片的传送。通过花篮一升降台驱使花篮一进行升降，从而可以配合输送台，将花篮一内的硅片导出。通过花篮二升降台驱使花篮二进行升降，从而可以配合输送台，将输送过来的硅片全部装载到花篮二内。通过皮带清污机构清理皮带上的污物，从而避免污染硅片。本申请提高了硅片导片的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 花篮 升降台 硅片 皮带输送机 皮带 本实用新型 清污机构 导片机 输送台 移动端 升降 硅片加工设备 避免污染 出片机构 进片机构 高效型 导出 导片 配合 装载 传送 申请 | ||
【主权项】：
1.一种高效型硅片导片机，其特征是，包括皮带输送机(1)、花篮一(2)、花篮一升降台(3)、花篮二(4)、花篮二升降台(5)、皮带清污机构(6)、出片机构(7)和进片机构(8)，所述皮带输送机(1)的平台底部设有花篮一升降台(3)和花篮二升降台(5)，花篮一升降台(3)的移动端上设有花篮一(2)，花篮二升降台(5)的移动端上设有花篮二(4)，花篮一(2)和花篮二(4)分别位于皮带输送机(1)两端，皮带输送机(1)的平台一端开设有用于穿过花篮一(2)的穿口，平台另一端开设有用于穿过花篮二(4)的穿口，皮带输送机(1)的平台两端分别固定有出片机构(7)和进片机构(8)，皮带输送机(1)的平台底端安装有皮带清污机构(6)。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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