[实用新型]一种外延炉固定安装用底座有效
| 申请号： | 201921081613.7 | 申请日： | 2019-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN211570836U | 公开（公告）日： | 2020-09-25 |
| 发明（设计）人： | 沈恒文;林旭斌;金修领;吉双平;郝小峰;刘彤辉 | 申请（专利权）人： | 江苏艾匹克半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/00 | 分类号： | C30B31/00;F27B17/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人： | 黄冠华 |
| 地址： | 214000 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种外延炉固定安装用底座，包括外延炉，所述外延炉底部的两侧均固定连接有固定杆，所述外延炉的底部设置有底座，所述底座顶部的两侧均开设有固定槽，所述固定杆的底部延伸至固定槽的内部，所述固定杆的内侧开设有卡槽，所述底座内部的两侧均竖向固定连接有滑杆。本实用新型通过设置外延炉、固定杆、底座、固定槽、卡槽、滑杆、滑环、连接板、弹簧、提升杆、升降板、传动杆、滑槽、滑块、移动板、斜孔板和卡杆的配合使用，解决了现有的外延炉固定安装用底座安装时操作繁琐的问题，该外延炉固定安装用底座，具备便于安装的优点，节省了使用者大量的时间，提高了外延炉固定安装用底座的实用性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 外延 固定 安装 底座 | ||
【主权项】：
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