[实用新型]一种用于晶圆夹取的镊子有效
| 申请号： | 201921091098.0 | 申请日： | 2019-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN210414192U | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 陆嘉鑫;李阳 | 申请（专利权）人： | 苏州长瑞光电有限公司 |
| 主分类号： | B25B9/02 | 分类号： | B25B9/02 |
| 代理公司： | 北京德崇智捷知识产权代理有限公司 11467 | 代理人： | 杨楠 |
| 地址： | 215024 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于晶圆夹取的镊子，包括尾部相互连接的两个镊片，至少一个镊片的外表面上设置有一处视觉标记，所述视觉标记用于标记距其所在镊片端部预设长度的位置，所述预设长度等于所述晶圆边缘无效区的宽度。本实用新型依据所要夹取晶圆无效区的尺寸对镊子进行改造，在镊片表面设置对应于晶圆安全夹入距离的视觉标记，从而使得夹取晶圆操作过程中，使得夹取部位既完全位于晶圆无效区内，又不至于过度靠近晶圆边缘以致影响晶圆夹取转移操作的安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 晶圆夹取 镊子 | ||
【主权项】：
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