[实用新型]一种切割晶圆用的清洗设备有效
| 申请号： | 201921105515.2 | 申请日： | 2019-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN210497435U | 公开（公告）日： | 2020-05-12 |
| 发明（设计）人： | 刘召满 | 申请（专利权）人： | 成都汉芯国科集成技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/10 | 分类号： | B08B3/10;B08B13/00;F26B21/00 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人： | 白小明 |
| 地址： | 610000 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种切割晶圆用的清洗设备，包括支撑架，所述支撑架上部设置有驱动装置，所述驱动装置与摇摆杆的一端活动连接，所述摇摆杆的另一端与清洗箱固定连接，所述摇摆杆通过转轴与支撑架活动连接，所述清洗箱上部设置有箱盖，所述清洗箱上设置有多个通孔，所述清洗箱内壁均由弹性材料制成，所述清洗箱下方设置有清洗池，所述清洗池下部设置有气缸推杆。通过清洗箱，使晶圆能够在清洗池中被清洗干净，且能够对晶圆的两面都进行充分的清洗，清洗效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 切割 晶圆用 清洗 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于成都汉芯国科集成技术有限公司，未经成都汉芯国科集成技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201921105515.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种基于机器视觉的胶囊缺陷检测系统
- 下一篇：一种结构紧凑的水平管降膜蒸发器
