[实用新型]一种靶材的U型冷却水循环装置有效
| 申请号： | 201921140882.6 | 申请日： | 2019-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN210529044U | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | 施玉良;徐文斌 | 申请（专利权）人： | 法柯特科技（江苏）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/32 |
| 代理公司： | 成都明涛智创专利代理有限公司 51289 | 代理人： | 丁国勇 |
| 地址： | 224000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种靶材的U型冷却水循环装置，包括第一支撑板，第一支撑板的顶端一侧焊接有第二支撑板，第二支撑板的一侧侧壁焊接有第一固定板，第一固定板的另一端焊接有第一U型管，第一U型管的上方设置有第二U型管，第一U型管和第二U型管相互远离的一侧连接有循环管，循环管上连接有水泵，第一U型管和第二U型管的U型槽侧壁焊接有第一导热板，第一导热板相互靠近的一侧侧壁沿竖直方向开设有卡位槽，卡位槽内滑动连接有第二导热板，第二支撑板靠近第二U型管的一侧侧壁开设有滑槽。本实用新型将传统的风冷替换为水冷，不仅能够快速对多个不同大小和厚度的靶材进行水冷却，而且对冷却水进行快速循环散热，提高了冷却效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 冷却 水循环 装置 | ||
【主权项】：
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