[实用新型]一种带废气收集装置的半导体钛钨蚀刻机

摘要

本实用新型涉及蚀刻设备技术领域，具体为一种带废气收集装置的半导体钛钨蚀刻机，包括装置主体，装置主体上设有废气收集处理装置，废气收集处理装置包括设置在装置主体上的第一出气管，保护套筒内设有驱动电机，驱动电机的输出轴末端紧密焊接有若干个呈环状等间距排列的风扇叶片，底座上设有第二出气管，第二出气管上设有废气处理筒，排气管的末端管体的管壁上紧密粘接有细滤网。本实用新型操作简单，使用方便，实现对蚀刻过程中产生的废气进行处理，减少有害气体对人体造成的不利影响。