[实用新型]翻转晶圆的装置有效
| 申请号： | 201921152728.0 | 申请日： | 2019-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN211337941U | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 孙彬;矫云超;张雷 | 申请（专利权）人： | 厦门通富微电子有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/07 | 分类号： | B65G49/07;B65G47/252;B65G47/91 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人： | 周颖颖 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市中国（福建）自由贸易试验区*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请公开一种翻转晶圆的装置，包括机架，机架上设有水平转轴和升降机构，水平转轴的一端连接动力部件，水平转轴通过连接件与升降机构相连，升降机构带动水平转轴在竖直方向上上下移动，水平转轴上安装有用于吸附晶圆的吸盘，吸盘通过气管连接真空发生器。根据本实用新型实施例提供的技术方案，吸盘随水平转轴转动以实现晶圆的翻转，成本低，操作简单，安全系数高。 | ||
| 搜索关键词： | 翻转 装置 | ||
【主权项】：
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