[实用新型]一种大尺寸硅圆片清洗机所用的毛刷结构有效
| 申请号： | 201921157185.1 | 申请日： | 2019-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN210586015U | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 裴坤羽;武卫;刘建伟;由佰玲;刘园 | 申请（专利权）人： | 天津中环领先材料技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/02 | 分类号： | B08B1/02;B08B3/02;B08B13/00;H01L21/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 300384 天津市滨海*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种大尺寸硅圆片清洗机所用的毛刷结构，包括对称设置的上毛刷组和下毛刷组，上毛刷组包括第一毛刷、第二毛刷，下毛刷组包括第三毛刷和第四毛刷，第一毛刷与第三毛刷对位设置，第二毛刷与第四毛刷对位设置；第一毛刷结构与第三毛刷结构相适配，第二毛刷结构与第四毛刷结构相适配；第一毛刷为圆型结构，第二毛刷为椭圆形结构，第二毛刷的最小半径与最大半径比为1：1.2‑1.5；第一毛刷半径不小于第二毛刷最大半径；在第一毛刷和第二毛刷上均设有若干刷头，刷头以圆心为中心向外分布。本实用新型毛刷结构，解决了容易漏刷的问题，清洗效果好，清洗效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尺寸 硅圆片 清洗 所用 毛刷 结构 | ||
【主权项】：
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