[实用新型]一种半导体用机械手

摘要

本实用新型实施例公开了一种半导体用机械手，包括用于提供Z向直线运动的Z轴模组、用于提供旋转动作的θ轴模组、以及用于提供X方向直线运动的X轴模组、以及V轴模组，X轴模组上设置有两组X轴驱动装置，V轴模组包括单手指模组和多手指模组，单手指模组和多手指模组分别与一组X轴驱动装置相连，多手指模组包括手指驱动组件，手指驱动组件的输出端连接有斜导向组件，斜导向组件连接有滑块组件，滑块组件连接有由五个晶圆搬运机械手构成的多手指组件，可实现五指和单指手指交替使用，也可实现五指指间距无级变化，使用起来更灵活，适应于半导体行业内不同晶圆片搬运的工艺需求。