[实用新型]一种显影机喷头结构有效
| 申请号： | 201921168615.X | 申请日： | 2019-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN210377027U | 公开（公告）日： | 2020-04-21 |
| 发明（设计）人： | 李昌勋;徐良;史伟言;彭艳亮;朱伟明;张磊;祝小林;刘建哲 | 申请（专利权）人： | 黄山博蓝特半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 芜湖众汇知识产权代理事务所(普通合伙) 34128 | 代理人： | 曹宏筠 |
| 地址： | 245000 安徽省黄山*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种显影机喷头结构，包括显影液主进液管，所述显影液主进液管的下方连通设置有缓存腔，所述缓存腔的下方连通设置有一组呈直线排列的喷头，该组喷头的长度与被显影晶片的直径相适配。为保证晶片上显影液的均匀性，减少流失，所述喷头间隔设置，且该组喷头的喷嘴孔径从中间向两边逐渐递减。本实用新型大大提高了显影液的喷洒效率，降低了生产成本。同时，可以方便调整喷头的数量和间距，满足不同晶片的显影要求，可广泛应用于晶片显影技术领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 显影 喷头 结构 | ||
【主权项】：
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