[实用新型]一种掩膜板清洗装置有效
| 申请号： | 201921171823.5 | 申请日： | 2019-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN210304791U | 公开（公告）日： | 2020-04-14 |
| 发明（设计）人： | 江欢;余溁 | 申请（专利权）人： | 上海和辉光电有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/04;B08B3/08;F26B21/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201506 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例公开了一种掩膜板清洗装置，掩膜板清洗装置包括至少一个浸泡式清洗槽、至少一个喷洒式清洗槽、至少一个清洗液清除槽和烘箱：掩膜板清洗装置还包括机械手臂和移动导轨，机械手臂沿移动导轨移动；沿移动导轨延伸的方向，浸泡式清洗槽、喷洒式清洗槽、清洗液清除槽和烘箱依次设置。本实用新型实施例提出的掩膜板清洗装置，通过设置至少一个喷洒式清洗槽，有效提升了掩膜板上异物杂质的清除率，改善了掩膜板清洁效果，提升了通过掩膜板制备的产品的良品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜板 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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