[实用新型]一种用于真空镀膜机的真空室有效
| 申请号： | 201921210194.2 | 申请日： | 2019-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN210367888U | 公开（公告）日： | 2020-04-21 |
| 发明（设计）人： | 胡向忠;陈培专;李仁龙;魏昌华;高翔 | 申请（专利权）人： | 绵阳金能移动能源有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369 | 代理人： | 贾晓燕 |
| 地址： | 621000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于真空镀膜机的真空室，包括：真空腔体；波浪形遮挡板，其可拆卸连接在真空腔体的内壁上；主传动辊，其设置在真空腔体的下部居中的位置；所述真空腔体的上部左右对称设置放卷辊和收卷辊；三个镀膜靶材，其等距离地放置在主传动辊的外圆周围，且位于主传动辊的下方；本实用新型将真空腔体内部的遮挡板设置为波浪形遮挡板，其有效增加了挡板的整体面积，让挡板能更好、更多的吸附靶材材料，减少保养次数，从而增加设备有效生产时间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 真空镀膜 真空 | ||
【主权项】：
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