[实用新型]一种圆柱型MO源钢瓶有效
申请号: | 201921221783.0 | 申请日: | 2019-07-31 |
公开(公告)号: | CN210261976U | 公开(公告)日: | 2020-04-07 |
发明(设计)人: | 薛亮;郑江 | 申请(专利权)人: | 常熟制药机械厂有限公司 |
主分类号: | C23C16/448 | 分类号: | C23C16/448 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215500 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种圆柱型MO源钢瓶,包括设有MO源封装空间且呈圆柱型的钢瓶本体,钢瓶本体上端部分别设有与MO源封装空间连通的进气管和出气管,同时进气管和出气管上分别安装有进气阀和出气阀;进气管包括固定密封连接为一体且位于MO源封装空间外部的外进气管段以及位于MO源封装空间内部的内进气管段,MO源封装空间内还固定焊接有与钢瓶本体底板平行的鼓泡对流隔板,鼓泡对流隔板贯穿内进气管段使得内进气管段的入口位于鼓泡对流隔板上方,内进气管段的出口位于鼓泡对流隔板下方,同时鼓泡对流隔板上设有若干鼓泡对流口;本实用新型通过对自身结构进行简单改进,可以有效提高MO源的流量饱和度,确保后续实施应用时的使用效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 圆柱 mo 钢瓶 | ||
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的