[实用新型]一种用于化学气相沉积设备的馈通装置

摘要

本实用新型涉及化学气相沉积技术领域，且公开了一种用于化学气相沉积设备的馈通装置，包括外筒，所述外筒的内壁套接有旋转筒，旋转旋转筒通过旋转筒上的圆形槽可以控制所有气体通道开启和闭合，外筒的外壁固定连接有底座，底座里设置有转动轮、内外圈和三角叶片，扭动旋转钮通过旋转杆的传递可以控制转动轮的转动，转动轮转动带动外圈转动，外圈转动又通过连接杆带动了三角叶片的闭合，三角叶片的闭合控制了内圈气体通道的闭合，从而达到了控制单个气体通道的目的，本实用新型结构简单，操作容易，通过底座部分和旋转筒部分，达到了有效控制馈通装置气体进入的效果，具有工作效率高、节约原材料等有益效果。