[实用新型]溅射靶安装用导正套

摘要

本实用新型公开了一种溅射靶安装用导正套，能够用于将溅射靶安装于设备的侧壁，溅射靶设有朝向侧壁所在方向延伸的导管，侧壁设有沿其壁厚方向贯通的安装孔，导正套包括：导正套本体，形成为柱状且其轴向长度大于导管的轴向长度，导正套本体内限定有沿其轴向延伸的定位孔，导管的一端穿过导正套本体的一端伸入定位孔，导正套本体的另一端的外壁面形成为朝向安装孔的中心所在方向向内倾斜延伸的导向斜面，导向斜面朝向安装孔所在方向的一端的外径尺寸小于安装孔的内径尺寸，导向斜面能够穿过导向孔并将导管引入安装孔。该溅射靶安装用导正套结构简单，拆装方便，便于快速定位。