[实用新型]一种基于准分子激光器的多参数互锁终端装置

摘要

本实用新型涉及激光器领域，具体涉及一种基于准分子激光器的多参数互锁终端装置。准分子激光器内多个气体单元、水路单元上对应的气体流量传感器、水流量传感器的NPN信号分别连接到对应的光电耦合器，且多个光电耦合器连在一起并接到另外一个光电耦合器上，再连接一个继电器，将NPN逻辑信号转换为继电器开关信号，当多个气体单元、水路单元中有一路或多路出现NPN信号输出为0时，继电器开关信号断开并产生低报警状态信号。该装置精确采集各单元的NPN信号并实时监测产生互锁，能保证各气路单元内气体流量和各水路单元水流量不低于危险下限值，不会出现因为气体流量值过低而损坏光学器件或者因为水路流量过低而损坏腔体及各配电单元的情况。