[实用新型]一种陶瓷真空镀铜动力基材摆放架有效

专利信息
申请号: 201921246168.5 申请日: 2019-08-03
公开(公告)号: CN210596247U 公开(公告)日: 2020-05-22
发明(设计)人: 乔利杰;宋述兵;杨会生;庞晓露;王瑞俊;郑宝林 申请(专利权)人: 山东司莱美克新材料科技有限公司
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50;C23C14/18
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 255000 山东省*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 实用新型公开了一种陶瓷真空镀铜动力基材摆放架,包括真空舱室,所述真空舱室顶部和底部设置有外仓;所述外仓内侧安装有链条驱动盘;所述链条驱动盘其驱动轴活动嵌入到真空舱室;底部得分所述链条驱动盘通过动力机构驱动;所述外仓远离真空舱室一侧通过密封板密封;两正对所述驱动轴之间可拆卸安装有基材摆放架;所述链条驱动盘包括凹型的圆盘;所述圆盘顶部设置有封板;所述圆盘内侧间隔排列有一环从动链盘;所述从动链盘之间设置有一驱动链盘;本实用新型的陶瓷真空镀铜动力基材摆放架,陶瓷基材外部装载后送入到真空舱室内进行圆周运转镀膜,镀膜装载简单,转向和转动频率可选择独立的链条驱动盘进行控制。
搜索关键词: 一种 陶瓷 真空 镀铜 动力 基材 摆放
【主权项】:
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