[实用新型]微透镜母模有效
申请号: | 201921285663.7 | 申请日: | 2019-08-08 |
公开(公告)号: | CN210666081U | 公开(公告)日: | 2020-06-02 |
发明(设计)人: | 黄玲玲 | 申请(专利权)人: | 北京万应科技有限公司 |
主分类号: | G02B3/00 | 分类号: | G02B3/00 |
代理公司: | 北京信诺创成知识产权代理有限公司 11728 | 代理人: | 刘金峰 |
地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型实施例公开了一种微透镜母模,包括:衬底、金属连接层和多排金属半球部,每排金属半球部包括多个金属半球,相邻两排金属半球部的间距与相邻金属半球的间距相等,所述金属半球与金属连接层一一对应,所述金属半球通过金属连接层固定在衬底上。利用本实用新型实施例不仅能够简化制作工艺,还可采用常规半导体加工工艺实现高精度、高密度和高占空比微透镜母模的制造,大大降低生产成本,同时还可采用高温真空回流技术,使金属半球表面光滑如镜,大大降低金属半球的粗糙度。 | ||
搜索关键词: | 透镜 | ||
【主权项】:
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