[实用新型]一种半导体晶圆切割装置有效
申请号: | 201921288857.2 | 申请日: | 2019-08-09 |
公开(公告)号: | CN210850879U | 公开(公告)日: | 2020-06-26 |
发明(设计)人: | 游勤兰 | 申请(专利权)人: | 深圳市超兴达科技有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D7/00;B28D7/04;B28D7/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种半导体晶圆切割装置,包括底座、第一固定板和第二固定板,所述底座顶部设有第一固定板、第二固定板和水箱,所述底座的顶部和第一固定板的底部相连接,所述第一固定板一侧设有滑槽,所述滑槽内设有滑块,所述滑块远离滑槽的一面设有第一连接杆,所述第一连接杆一端设有第二连接杆,所述第二连接杆远离第一连接杆的一端的顶部设有电机,所述电机底部设有转轴,所述转轴底部设有金刚石切割刀,所述底座顶部和第二固定板的底部相连接,所述第二固定板一侧设有放置板,所述放置板远离第二固定板的一端设有定位孔。本实用新型有益效果是:通过定位孔将金刚石切割刀控制在切割范围内,保证了切割的稳定性。 | ||
搜索关键词: | 一种 半导体 切割 装置 | ||
【主权项】:
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