[实用新型]一种旋转靶材的垂直绑定装置有效
| 申请号： | 201921290902.8 | 申请日： | 2019-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN210314468U | 公开（公告）日： | 2020-04-14 |
| 发明（设计）人： | 高明;张花蕊;张虎;陈浩杰 | 申请（专利权）人： | 北京航大微纳科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B23K1/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100089 北京市海淀区学*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种旋转靶材的垂直绑定装置，包括衬管(1)、分段套设在衬管(1)上的至少两个靶管(2)、所述衬管(1)内设有内加热装置(3)，所述靶管(2)外设有外加热装置(4)；其特征在于：所述内加热装置(3)沿所述衬管(1)的延伸方向分为独立控制的多个加热段(31)，所述加热段(31)与所述靶管(2)一一对应设置；所述外加热装置(4)与所述靶管(2)一一对应设置，每个所述外加热装置(4)均为独立控制。本实用新型的绑定装置能够防止焊料在绑定过程中冲破密封装置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 垂直 绑定 装置 | ||
【主权项】：
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