[实用新型]一种全新的物理气相沉积铝腔体配件装置

摘要

本实用新型公开了一种全新的物理气相沉积铝腔体配件装置，包括旋拧工件、金属内筒和金属外筒，所述金属内筒一侧设有环形凸沿部，且环形凸沿部一边沿轴向开设有连通金属内筒的第一穿孔，所述金属内筒外壁设有外螺纹部，所述金属外筒内壁设有与外螺纹部规格相适配的内螺纹部，所述金属外筒一端开有第二穿孔，所述旋拧工件包括卡盘，且卡盘一侧设有阶梯槽，所述卡盘远离阶梯槽一面中部位置处螺接有支杆，且支杆远离卡盘一端焊接有旋杆。本实用新型可以使得保养装配更便捷，缩短保养的时间，减小保养的工作量，相比以前的装置，该装置是用螺纹固定各配件，各配件之间的装配更紧密，减小粘片的机率，提高机器的稳定性。