[实用新型]一种光刻机的投影物镜镜头有效
| 申请号： | 201921337103.1 | 申请日： | 2019-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN210348192U | 公开（公告）日： | 2020-04-17 |
| 发明（设计）人： | 王瑶 | 申请（专利权）人： | 中山依瓦塔光学有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B13/00 |
| 代理公司： | 中山市捷凯专利商标代理事务所(特殊普通合伙) 44327 | 代理人： | 杨连华 |
| 地址： | 528400 广东省中山市火炬开发区中心*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请为一种光刻机的投影物镜镜头，沿光轴从物面到像面依次至少包括：第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、第七透镜以及第八透镜，其中第一透镜的物面侧为平面，像面侧为凸面，其光焦度为正；第二透镜的物面侧为凸面，像面侧为平面，其光焦度为正；第三透镜的物面侧为凸面，像面侧为凸面，其光焦度为正；第四透镜的物面侧为平面，像面侧为凹面，其光焦度为负；第五透镜的物面侧为平面，像面侧为凸面，其光焦度为正；第六透镜的物面侧为凹面，像面侧为凹面，其光焦度为负；第七透镜的物面侧为凹面，像面侧为凸面，其光焦度为正；第八透镜的物面侧为凸面，像面侧为平面，其光焦度为正，本申请结构简单精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 投影 物镜 镜头 | ||
【主权项】：
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