[实用新型]一种有机半导体晶体的多温区化学气相沉积装置

摘要

本实用新型公开了一种有机半导体晶体的多温区化学气相沉积装置，包括工作台和垂直移动系统，所述工作台的顶部通过粘接固定有玻璃外套管，所述玻璃外套管的顶端连接有出气金属连接器，所述垂直移动系统的顶端穿过工作台活动连接在玻璃外套管的内部，所述垂直移动系统的顶端位于玻璃外套管的内部固定有反应容器，所述反应容器的顶部中心处通过玻璃烧结工艺形成圆锥形小孔，所述反应容器的外侧套接固定有加热系统，所述工作台上位于垂直移动系统的一侧设置有与玻璃外套管连通的进气金属连接器。本实用新型能有效提升有机固‑固反应的效率和产率，降低系统的制造成本及使用成本，同时对环境友好，实现绿色无污染的有机固‑固反应。