[实用新型]一种光轴导向的两轴联动十字滑台有效
申请号: | 201921347380.0 | 申请日: | 2019-08-19 |
公开(公告)号: | CN210499240U | 公开(公告)日: | 2020-05-12 |
发明(设计)人: | 谷秋梅 | 申请(专利权)人: | 姜堰经济开发区科创中心 |
主分类号: | B23Q1/25 | 分类号: | B23Q1/25;B23Q5/28 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 225500 江苏省泰州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种超精密的移动定位装置,尤其是一种光轴导向的联动十字滑台。本实用新型采用的技术方案是:一种光轴导向的两轴联动十字滑台,包括X轴组件和Y轴组件,X轴组件通过X轴气浮直线轴承与Y轴导轨座固定连接,X轴组件包括X轴光轴固定座、X轴光轴、X轴气浮直线轴承、X轴位置读数传感器、X轴光栅尺、X轴直线电机初级、X轴直线电机次级、X轴导轨座、X轴限位开关传感器,Y轴组件包括Y轴光轴固定座、Y轴光轴、Y轴气浮直线轴承、Y轴位置读数传感器、Y轴光栅尺、Y轴直线电机初级、Y轴缓冲器、Y轴直线电机次级、Y轴限位开关传感器、Y轴溜板。本实用新型的优点是:可以实现X轴、Y轴的联动,可以实现精确的位置定位。 | ||
搜索关键词: | 一种 光轴 导向 联动 十字 | ||
【主权项】:
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