[实用新型]一种光轴导向的两轴联动十字滑台有效

专利信息
申请号: 201921347380.0 申请日: 2019-08-19
公开(公告)号: CN210499240U 公开(公告)日: 2020-05-12
发明(设计)人: 谷秋梅 申请(专利权)人: 姜堰经济开发区科创中心
主分类号: B23Q1/25 分类号: B23Q1/25;B23Q5/28
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 225500 江苏省泰州市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型涉及一种超精密的移动定位装置,尤其是一种光轴导向的联动十字滑台。本实用新型采用的技术方案是:一种光轴导向的两轴联动十字滑台,包括X轴组件和Y轴组件,X轴组件通过X轴气浮直线轴承与Y轴导轨座固定连接,X轴组件包括X轴光轴固定座、X轴光轴、X轴气浮直线轴承、X轴位置读数传感器、X轴光栅尺、X轴直线电机初级、X轴直线电机次级、X轴导轨座、X轴限位开关传感器,Y轴组件包括Y轴光轴固定座、Y轴光轴、Y轴气浮直线轴承、Y轴位置读数传感器、Y轴光栅尺、Y轴直线电机初级、Y轴缓冲器、Y轴直线电机次级、Y轴限位开关传感器、Y轴溜板。本实用新型的优点是:可以实现X轴、Y轴的联动,可以实现精确的位置定位。
搜索关键词: 一种 光轴 导向 联动 十字
【主权项】:
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